概要
当センターの保有するSTT-MRAM等に係るプロセス・デバイス・システムに係るコア技術を適用し、半導体製造装置メーカーの東京エレクトロン株式会社は、STT-MRAM向けの製造装置の開発を行うとともに、計測機器メーカーのキーサイト・テクノロジー・インターナショナル合同会社は、製造されたSTT-MRAM向けの評価装置の開発を行うもの。
連携先
東京エレクトロン株式会社、キーサイト・テクノロジー・インターナショナル合同会社
成果
本共同研究成果に基づいて、東京エレクトロン株式会社は、STT-MRAM等の製造装置を、また、キーサイト・テクノロジー・インターナショナル合同会社は、STT-MRAM等の計測システムの販売事業を開始でき、それぞれ新市場を創設することとなりました。
活用できた拠点の特徴など、PR
(1)材料（川上技術）からシステム（川下技術）まで対応する当センターの革新的コア技術、(2)センター内に設置した300mmウエハ対応のプロセスラインからなるハード、そして(3)オープンイノベーション型研究開発のために構築された産学連携コンソーシアムによるフレキシブルなフレームワーク等のソフト、これら三つの要素を有機的に結合することで、様々な分野からの参加企業の共同研究環境が向上しています。